傾斜CT画像再構成の説明
斜めCTとは、X線検査装置のうち傾斜コーンビーム方式を用いたCT装置を指します。TomoShopではこの形式のCTを傾斜CTと呼んでいます。
傾めCTは、X線を斜め方向から対象物体に照射し、検出器でその透視画像を各方向から撮影することで、対象物体の断層像を得ることができます。通常の斜めCT装置では回転台に対象物体を置き、回転台を回すことによって各方向から撮影画像を得ます。
斜めCTでは、検出器を垂直方向から水平方向まで置いて撮影した画像に対して、対象物体の断層像を得ることができます。
通常のCTでは大型基板などの高アスペクト比のサンプルを断層撮影することは非常に困難ですが、斜めCTでは基板のような薄い物体や平たい物体の断層像を得て、その欠陥を発見することができます。
この機能はF4でご使用できます。
※傾斜照射断層再構成は傾斜CT画像再構成のことです。
